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半導體Wafer視覺檢測機
設備型號
:
WAPS02B
設備描述
:
應用于半導體晶圓表面缺陷檢測并分類標記。采用3D掃描,重建出晶圓擴晶后造成的三維變形,便于在檢測時進行快速的自動聚焦。采用直線電機驅動XYZ,實現平穩快速精準的運動。采用成熟的圖像處理算法,可視化用戶界面,方便用戶增加或修改檢測內容,通用性強。
適用產品
適用產品
APPLICABLE PRODUCT
6寸晶圓
采用信儀3D視覺檢測系統
對產品各類缺陷進行自動識別
8寸晶圓
實現精準快速識別缺陷并進行篩選
12寸晶圓
產品參數
產品參數
PRODUCT PARAMETERS
設備名稱
半導體Wafer視覺檢測機
檢測方式
2D視覺檢測,3D線激光掃描
檢測精度
0.001 mm
檢測效率
0.5 s/chip
上下料方式
六軸機器人上下料
設備重量
700KG
電源電壓
220V 50Hz, 1.5KW
機器尺寸
1,300mm(W)*1,100mm(D)*2,000mm(H)
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電話:+86 755 23012310
手機:13829705190
郵箱:ymtang@www.ksshangzhi.com
地址:
深圳市寶安區福永街道懷德社區廣深路
福永段73號懷德國際大廈2201
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