半導體Wafer視覺檢測機

半導體Wafer視覺檢測機

設備型號 WAPS02B
設備描述 應用于半導體晶圓表面缺陷檢測并分類標記。采用3D掃描,重建出晶圓擴晶后造成的三維變形,便于在檢測時進行快速的自動聚焦。采用直線電機驅動XYZ,實現平穩快速精準的運動。采用成熟的圖像處理算法,可視化用戶界面,方便用戶增加或修改檢測內容,通用性強。
適用產品

適用產品

APPLICABLE PRODUCT

6寸晶圓
采用信儀3D視覺檢測系統
對產品各類缺陷進行自動識別
8寸晶圓
實現精準快速識別缺陷并進行篩選
12寸晶圓
產品參數

產品參數

PRODUCT PARAMETERS

設備名稱半導體Wafer視覺檢測機
檢測方式2D視覺檢測,3D線激光掃描
檢測精度0.001 mm
檢測效率0.5 s/chip
上下料方式六軸機器人上下料
設備重量700KG
電源電壓220V 50Hz, 1.5KW
機器尺寸1,300mm(W)*1,100mm(D)*2,000mm(H)


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